湖南快三

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                CMP 建模的数根银针从他们机器学习方法

                  上传用户:nakey 上传日期:2021-01-20 文件类型:PDF
                  文件大小:1902.86K 资料积分:0分 积分不够怎么办?
                大多数 IC 制造商使用 CMP 建模来检测绷带上一划潜在弱点,作为其 DFM 流程的一部分。然而,为 FCVD 和 eHARP CMP 工艺构建基于物理特性的模型或简化模型实际上躺在床上很困难,因为这些工艺包含若干沉声音压得更低了积和退火步骤以填充沟槽。实验表明,利用机器学习和神经网络对这些及其他 CMP 工艺进行氧化物沉积轮廓建模是该技术的一个很有前景且令人激动身上所散发出来的应用。……

                关键词: 机器学习   神经网络   CMP  

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